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我国电子工业部高纯水水质试行标准

浏览次数:444次发表时间:2017-07-20

 

化学指标单位:μg/L

序号

水质项目

一级高纯水指标

二级高纯水指标

1

电阻率(25℃)MΩ·cm

≥15

≥10

2

电导率,μs/cm

0.05

0.1

3

PH值

6.8~7.2

6.6~7.4

4

细菌总数,个/mL

<3

<9

5

微粒(直径>0.5μm,粒/mL)

<150

<300

6

二氧化硅

<10

<20

7

有机物(以COD计)

<0.3

<0.5

8

钠 Na

<0.5

<2

9

铁 Fe

<1

<2

10

铜 Cu

<0.5

<1

11

钙 Ca

<1

<3

12

镁 Mg

<0.2

<1

13

锌 Zn

<0.5

<1

14

锰 Mn

<0.2

<0.5

 

说明:①一级高纯水适用于大规模集成电路,微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。
   ②二级高纯水适用于一般电路,分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。
   ③本表按1980年电子工业部标准摘录。

 



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